BIENVENUE DANS UNE NOUVELLE DIMENSION

Micro-capteurs de monitoring sans énergie, permettant le contrôle de santé des structures…

 

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Micro-moteurs électrostatiques de très haute performance pour des entrainements en translation ou en rotation…

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Pièces micro-mécaniques en silicium de grande précision réalisées à la demande suivant un cahier des charges spécifique…

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LA RÉVOLUTION MEMS

SilMach, pionnier de la micromécanique MEMS sur silicium

Précurseur dans le domaine de la micromécanique en silicium, nous concevons, fabriquons et intégrons des microsystèmes MEMS performants :

  • Micromoteurs pour la motorisation de systèmes nomades et/ou connectés
  • Capteurs micromécaniques sans énergie pour le contrôle de santé des structures.

Pour vous, nous anticipons les technologies du futur en repoussant les limites de la miniaturisation. De l’extrême finesse des motifs obtenus en salle blanche à la meilleure mécanique de précision, de l’univers aseptisé du silicium à l’environnement opérationnel que nous servons, il y a un Monde ! SilMach® est au cœur de ce transfert technologique : notre savoir-faire vous offre l’opportunité d’exploiter l’extraordinaire potentiel des micromachines MEMS dans vos applications. Objectif : gagner en compacité et en nouvelles fonctionnalités !

Nos marques

SilMach conçoit, développe, fabrique et intègre :

  • Les solutions ChronoMEMS® : capteurs mécaniques MEMS hybrides sans énergie pour le suivi en service (monitoring) de vos structures.
  • Les solutions PowerMEMS® : micromoteurs et microsystèmes électrostatiques destinés à animer des mécanismes ultracompacts et extrêmement précis utilisées dans les objets connectés, les technologies nomades, les systèmes embarqués, l’instrumentation scientifique etc.
  • Les solutions MyMEMS® : pièces et composants en silicium réalisées à la demande.

Success story

L’entreprise est créée en 2003 avec un pari fou et furieusement avant-gardiste : industrialiser des premières micromachines MEMS alors que la thématique n’est qu’à ses balbutiements au niveau international ! Repérée par de grandes institutions et des industriels de renom, la start-up du CNRS menée par son fondateur visionnaire, Patrice Minotti, et son équipe de scientifiques réalise les premiers démonstrateurs qualifiés de véritables « sauts technologiques » comme l’emblématique nanodrone bio-inspiré « Libellule ». Le succès technologique et médiatique international célèbre le début de l’aventure SilMach® !

L’entreprise conçoit en quelques années des technologies de rupture pour la motorisation des montres à quartz puis, au travers d’un partenariat avec la DGA (Direction Générale de l’Armement), invente son système de monitoring de structures ChronoMEMS®.

Lauréate du concours national de création d’entreprises de technologies innovantes du ministère de la Recherche en 2003, SilMach® a reçu ensuite de nombreuses distinctions : Micron d’Or au salon MICRONORA en 2004 et 2014, Prix Science & Défense en 2006, Trophée INPI de l’innovation en 2010, Prix de l’Ingénieur Général Chanson en 2014, Membre de BPIfrance Excellence depuis 2014, Talents de l’INPI en 2015, Victor de l’entreprise en 2016…

Grâce à ces distinctions et à son effort perpétuel d’innovation, l’entreprise est aujourd’hui reconnue et plébiscitée en France et à l’international par de nombreux industriels sur les marchés de l’aéronautique, nucléaire, militaire, transport terrestre, horlogerie… Des acteurs convaincus de l’infini potentiel des applications que propose SilMach®.



RECHERCHE & EXPERTISE

​ Les ingénieurs et techniciens SilMach® ne se contentent pas d’assurer la conceptualisation, la modélisation, le design et le prototypage de solutions MEMS, ils développent également l’ensemble des interfaces mécaniques et électroniques nécessaires à l’intégration des innovations SilMach® dans vos produits d’accueil.

Qu’il s’agisse de la vente de services R&D “amont” ou de contrats de co-développement en partenariat, SilMach® accompagne ses clients industriels jusqu’au stade du prototypage, des préséries et de la fabrication, en produisant elle-même ou en organisant des transferts technologiques auprès de fonderies spécialisées.

C’est l’ensemble de ce savoir-faire qui est au service de vos besoins. 

​Dans le cadre de l’industrialisation de la production et de la maitrise des procédés, SilMach a obtenu le soutien de la Région Bourgogne Franche-Comté au travers de financements européens (FEDER).




NOUVEAUX SERVICES

FABRICATION & ASSEMBLAGE de vos pièces en silicium

Un savoir-faire de fabrication éprouvé, des technologies d'assemblage brevetées.


FABRICATION DE PIECES EN SILICIUM

Avec 20 ans d'expérience dans le développement de procédés de fabrication de pièces en silicium, SilMach maîtrise toutes les étapes de fabrication de composants silicium en salle blanche. 

PROFONDEUR DE GRAVURE 

Experte de la gravure profonde (DRIE), SilMach dispose d'un large panel de techniques pour réaliser vos pièces en silicium de  quelques microns d'épaisseur à plusieurs centaines de microns, en wafer silicium monocouche ou en wafer structure double couche (SOI : Silicon On Insulator). 

POST-TRAITEMENT & FINITION :

Les produits MEMS hybrides de SilMach ont nécessité la mise au point de nombreux procédés de post-traitement et de finition : oxydation de surface du silicium, traitement thermique, dépôt de matériaux en couche mince par pulvérisation ou évaporation de matériaux etc. Nous mettons à disposition l'ensemble de ces savoir-faire pour vos projets.

AUTRE PRESTATIONS :

Pour les projets les plus exigeants en termes de design ou de fonctionnalité, SilMach offre des capacités particulières de process sur wafer. Pour plus d’information, n’hésitez-pas à nous contacter.

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ASSEMBLAGE PAR HYBRIDATION 

Pour ses besoins propres, SilMach a inventé de nouvelles méthodes d'assemblage de pièces silicium avec des composants micromécaniques de précision, en particulier pour les domaines horlogers, médicaux, électroniques, aéronautique, défense etc. Savoir-faire unique reconnu à l'international, ces techniques dites "hybrides" sont disponibles pour vos projets : 

PICK & PLACE : L'ASSEMBLAGE AUTOMATISÉ

Gage de répétabilité et de qualité, l'assemblage automatisé par die-bonder répond à vos attentes en termes de productivité et de précision avec des capacités de +/- 3 µm.

ASSEMBLAGES SEMI-AUTOMATISÉS ET MANUELS :

Cobots et postes d'assemblages manuels sont disponibles pour des besoins d'assemblage plus complexes ou limités en volume.

WIRE-BONDING : CONNECTÉ À L'ÉLECTRONIQUE

Vous souhaitez connecter vos puces silicium dans votre environnement électronique ? Profitez de nos capacités de wire-bonding automatisées pour une production répétable. 

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TESTS AUTOMATISÉS & CONTRÔLE QUALITÉ

Complément indispensable des prestations de fabrication et d'assemblage, SilMach met à votre disposition ses moyens de test pour qualifier et contrôler la production :

MOYENS DE TESTS OPTIQUES ET ÉLECTRONIQUES :

Test et caractérisation unitaire ou automatisé sur wafers 4'' et 6", par méthodes optiques et électroniques: en fonction de votre cahier des charges, des moyens dédiés pourront être développés.   

CERTIFICATION ISO 9001:2015

Certifiée ISO 9001:2015, SilMach est engagée dans un processus d'amélioration continue. L'entreprise et l'ensemble de son personnel vous accompagne dans cette démarche et reste à l'écoute de vos besoins au quotidien. Nous avons hâte de vous rencontrer !


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NOS SERVICES, POUR QUELS MARCHÉS?

HORLOGERIE

MEDICAL

AÉRONAUTIQUE

OPTIQUE

La fabrication de produits MEMS hybrides s’appuie sur un savoir-faire unique d’intégration de composants silicium ultra précis dans un environnement micromécanique conventionnel. La production de SilMach mobilise des moyens de fabrication en salle blanche pour ses composants en silicium qui sont ensuite assemblés dans un environnement mécanique de précision comparable à celui de l’horlogerie. Standard ou spécifiquement adapté au besoin du client, chaque produit suit un processus de contrôle qualité incluant un test systématique de bon fonctionnement avant livraison.

Vous avez un projet de fabrication ou d'assemblage? 

Nous pouvons y répondre.

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NOS MARCHÉS

ENERGIE


NAVAL

AÉRONAUTIQUE

TERRESTRE


HORLOGERIE

STRUCTURE

ChronoMEMS® est une gamme de capteurs « passifs », c’est-à-dire qu’ils ne nécessitent aucune source d’énergie, ni système de récupération d’énergie, pour fonctionner. Cette singularité offre des perspectives d’emploi jusqu‘alors inenvisageables dans les domaines du Maintien en Condition Opérationnelle et de la sûreté de fonctionnement. ChronoMEMS®, c’est une solution de monitoring opérationnelle 24h/24 – 365 jours/an, permettant à tout décideur logistique ou opérationnel de connaitre exactement le vécu et l’endommagement de chaque matériel, équipement ou structure en service.

Les marchés ciblés sont : l’aéronautique, le naval, les transports terrestres, la production et la distribution d’énergie, les équipements industriels, les ouvrages d’art etc… 

Grâce à leur compacité, leur simplicité et leur très haute résolution de positionnement, les solutions de motorisation PowerMEMS® « direct drive » réversibles remplacent très avantageusement des ensembles moteurs conventionnels munis de train d’engrenages devenus inutiles, encombrants et consommateurs d’énergie. Ces solutions de rupture ouvrent logiquement de nouveaux domaines d’emploi grâce notamment à leur architecture radicalement simplifié comparativement aux solutions de l’état de l’art.

PowerMEMS® cible prioritairement le marché de l’horlogerie et des objets nomades ou connectés, domaines dans lesquels les gains en termes de simplification architecturale, de compacité, de prix et/ou de consommation d’énergie sont prédominants. Les domaines d’application prospectifs sont : le spatial, l’optique, l’optronique, la santé, l’instrumentation scientifique etc…

SilMach maitrise la capacité de structuration du silicium dans des échelles sub-micrométriques et réalise des pièces MEMS à façon. Les volumes de production vont du prototype à plusieurs dizaines de milliers de pièces par client. SilMach maitrise également les post-traitements du silicium ainsi que l’hybridation de composants MyMEMS® sur tous types de support micromécanique.

MyMEMS® s’adresse à tous ceux dont les besoins d’hyper-précision ne peuvent être satisfaits par les moyens traditionnels de fabrication. Les marchés principaux concernent : l’optique, l’acoustique, la fluidique que ce soit dans les domaines spatiaux, de l’instrumentation, de la santé, etc.